石英蝕刻槽加熱器
石英蝕刻槽加熱器
使用高溫粘合劑（HTB）在石英管上預(yù)成型。
晶圓加工
盡管在Chuck Technology Integrated Circuitry中采用的蝕刻箔加熱技術(shù)存在應(yīng)用上的相似之處，但瓦數(shù)，溫度和安裝方法存在足夠多的變量，要求設(shè)計(jì)人員特別注意將替代的絕緣體和薄膜結(jié)合在一起，以確保成功實(shí)現(xiàn)絕緣。成品。例如，此加熱器/散熱器組件由蝕刻的箔片元件組成，該箔片元件封裝在兩個(gè)薄膜絕緣體的組合層壓板中：一個(gè)是Kapton?聚酰亞胺，另一個(gè)是Teflon?。加熱器安裝在陽極氧化的散熱器上，并且傳感器位于中央基座上。多加熱器/散熱器組件集成到多端口板中，該多端口板旨在快速裝載/卸載，以“燒入”計(jì)算機(jī)行業(yè)中使用的硅樹脂光盤。
