硅片夾頭加熱器
硅片夾頭加熱器
特氟龍?絕緣導電加熱器組件
通過壓敏粘合劑PSA，RTD溫度傳感器，熱熔斷器和帶電連接器的線束粘合到加工的金屬上。
晶圓加工
盡管在Chuck Technology Integrated Circuitry中采用的蝕刻箔加熱技術存在應用上的相似之處，但瓦數，溫度和安裝方法存在足夠多的變量，要求設計人員特別注意將替代的絕緣體和薄膜結合在一起，以確保成功實現絕緣。成品。例如，此加熱器/散熱器組件由蝕刻的箔片元件組成，該箔片元件封裝在兩個薄膜絕緣體的組合層壓板中：一個是Kapton?聚酰亞胺，另一個是Teflon?。加熱器安裝在陽極氧化的散熱器上，并且傳感器位于中央基座上。多加熱器/散熱器組件集成到多端口板中，該多端口板旨在快速裝載/卸載，以“燒入”計算機行業中使用的硅樹脂光盤。
